Ketuhar Atmosfera Lengai, juga dipanggil ketuhar Anaerobik, direka bentuk untuk rawatan haba menggunakan gas bukan pengoksidaan seperti nitrogen dalam persekitaran pengedap, ia sesuai untuk rawatan haba di bawah suasana kepekatan oksigen rendah.
Penerangan
Siri Ketuhar Atmosfera Inert digunakan dalam pembuatan semikonduktor untuk pembakar prarawatan wafer silikon, galium arsenide, litium niobate, kaca sebelum salutan PR, penaik filem keras selepas salutan PR, dan pembakar suhu tinggi selepas dibangunkan; Ia juga sesuai untuk jabatan pengeluaran dan penyelidikan saintifik, seperti paparan kristal cecair elektronik, LCD, CMOS, IS dan makmal; ia juga boleh digunakan untuk pengeringan, pemprosesan haba, penuaan dan lain-lain ujian suhu tinggi bagi barangan tidak meruap, tidak mudah terbakar dan tidak meletup.
Parameter Utama
►Parameter teknikal
Kapasiti: Disesuaikan mengikut produk
Julat Suhu: Ambien+50°C ~ 250°C
Kandungan Oksigen: ≤50ppm
Keseragaman Suhu: ±2.5%
Kadar Peningkatan: Boleh dikawal
Masuk Nitrogen: Φ8
Aliran nitrogen: 0-240L/min * 2 saluran
►Struktur
. Ketuhar dalaman: Diperbuat daripada keluli tahan karat dan lancar dikimpal dengan gas argon.
. Dimeterai secara hermetik: Ruang dimeterai untuk mengurangkan tahap oksigen.
. Struktur pengambilan udara: Membolehkan gas tidak mengoksida memenuhi ruang.
. Penganalisis O2: Laraskan paras oksigen dengan tepat antara 0.5~ 21%
► Sistem kawalan suhu
Pengawal suhu JAPAN RKC pintar, atur cara dan tetapan nilai pembetulan, penalaan automatik AT, pembetulan mengimbangi dan pengekalan kuasa mati.
► Perolakan udara paksa
Saluran udara yang dipatenkan dalam sistem peredaran udara panas secara automatik boleh melaraskan keseragaman suhu.
Ciri-ciri untuk ketuhar anaerobik (Lengai).
► Studio keluli tahan karat yang tertutup rapat untuk mengelakkan kemasukan atmosfera luaran
► Gunakan gas lengai nitrogen untuk rawatan haba anaerobik
► Meter aliran dan tolok tekanan dilengkapi
► Peranti keselamatan pelbagai perlindungan
Pilihan
► PLC+7” pengawal boleh atur cara
► Penggera cahaya berkelip tiga warna
► Pengehad lebih suhu
► Peranti keselamatan manual
Mengapa memilih Ketuhar Suasana Inert?
Kini, bahan pendawaian dalam litar telah beralih daripada aluminium kepada tembaga dengan kerintangan yang lebih rendah. Oleh itu, apabila dirawat haba dalam ketuhar pengeringan biasa, bahagian kuprum boleh teroksida, menyebabkan kecacatan. Di samping itu, penuaan 250 darjah C juga dilakukan untuk memeriksa sama ada data yang ditulis pada memori denyar telah dipadamkan disebabkan oleh elektromigrasi, dan sama ada bahagian benjolan teroksida, jadi kandungan oksigen mesti dikurangkan kepada <100ppm. Ketuhar anaerobik ini dibangunkan untuk memenuhi permintaan ini.
Permohonan
Ketuhar Atmosfera Inert digunakan terutamanya untuk pengawetan gam BPO/gam PI/BCB, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, komponen elektronik berketepatan tinggi dan bahan lain dalam persekitaran oksigen rendah untuk ujian pengeringan dan penuaan .
